前言:
半導(dǎo)體是電子氣體重要下游市場(chǎng),2024年以來,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)復(fù)蘇帶動(dòng)我國(guó)電子氣體行業(yè)回暖。
電子氣體分為電子大宗氣體和電子特種氣體。電子特種氣體品種較多,單一公司無法供應(yīng)全部氣體,而海外廠商起步早且擁有先發(fā)優(yōu)勢(shì),電子特氣產(chǎn)品品類相對(duì)齊全,因此在中國(guó)電子特氣市場(chǎng)上擁有較強(qiáng)的話語權(quán)。電子大宗氣體以氮?dú)鉃橹?,隨著半導(dǎo)體供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)降低及生產(chǎn)成本控制需求日益急迫,國(guó)產(chǎn)電子大宗氣體迎機(jī)遇,并在以廣鋼氣體為代表的本土企業(yè)的引領(lǐng)下,電子大宗氣體國(guó)產(chǎn)替代逐漸步入“深水區(qū)”。
一、電子氣體為半導(dǎo)體制造第二大耗材,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)回暖帶動(dòng)電子氣體市場(chǎng)規(guī)模增長(zhǎng)
根據(jù)觀研報(bào)告網(wǎng)發(fā)布的《中國(guó)電子氣體行業(yè)發(fā)展深度研究與投資前景分析報(bào)告(2025-2032)》顯示,電子氣體廣泛用于超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域,在薄膜、刻蝕等工藝中作用關(guān)鍵,其純度和潔凈度直接影響光電子、微電子元器件質(zhì)量、集成度、技術(shù)指標(biāo)與成品率,制約電路和器件精確性。在半導(dǎo)體制造中,電子氣體成本占比約14%,是第二大耗材;顯示面板、LED與光伏等泛半導(dǎo)體行業(yè)同樣是電子氣體重要下游,因此,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展在電子氣體的發(fā)展中起關(guān)鍵作用。
數(shù)據(jù)來源:觀研天下數(shù)據(jù)中心整理
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2016-2022年,隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠商積極擴(kuò)產(chǎn)、升級(jí)產(chǎn)品線,我國(guó)電子氣體市場(chǎng)規(guī)模由92 億元增長(zhǎng)至 180 億元,CAGR達(dá)11.8%。2023年,受半導(dǎo)體行業(yè)訂單不足影響,我國(guó)電子氣體市場(chǎng)規(guī)模增長(zhǎng)速度放緩,為3.9%。2024年,隨著半導(dǎo)體訂單恢復(fù),我國(guó)電子氣體市場(chǎng)逐漸回暖,規(guī)模達(dá)195億元,同比增長(zhǎng)4.3%。預(yù)計(jì)2025年我國(guó)電子氣體市場(chǎng)規(guī)模增長(zhǎng)至208億元,同比增長(zhǎng)6.7%。
數(shù)據(jù)來源:觀研天下數(shù)據(jù)中心整理
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二、電子特種氣體主要市場(chǎng)仍由海外廠商把控,電子大宗氣體國(guó)產(chǎn)替代步入“深水區(qū)”
電子氣體分為電子大宗氣體和電子特種氣體,兩者在氣體品種、用量、應(yīng)用環(huán)節(jié)、供應(yīng)模式、純度要求等方面存在本質(zhì)不同。
電子氣體分類
項(xiàng)目 | 電子大宗氣體 | 電子特種氣體 |
氣體品種和用量 | 氮?dú)?、氦氣、氧氣、氫氣、氬氣、二氧化碳等,單一品種用量較大 | 現(xiàn)有特種氣體達(dá) 260 余種,單一品種用量較小 |
應(yīng)用環(huán)節(jié) | 作為環(huán)境氣、保護(hù)氣、清潔氣和運(yùn)載氣等應(yīng)用在電子半導(dǎo)體生產(chǎn)的各個(gè)環(huán)節(jié) | 單一品種僅在電子半導(dǎo)體生產(chǎn)的部分特定環(huán)節(jié)使用 |
供應(yīng)模式 | 現(xiàn)場(chǎng)制氣(On-site)為主,通過在客戶現(xiàn)場(chǎng)建設(shè)制氣裝置,集中、大規(guī)模、不間斷供應(yīng),對(duì)供應(yīng)安全性、穩(wěn)定性、可靠性要求極高 | 零售供氣(Merchant)為主,通過氣瓶運(yùn)送至客戶現(xiàn)場(chǎng) |
合作期限 | 下游客戶單個(gè)工廠/產(chǎn)線一般僅有一個(gè)電子大宗氣體現(xiàn)場(chǎng)制氣供應(yīng)商,合同期通常為 15 年甚至更長(zhǎng),合同存續(xù)期內(nèi)基本無法更換 | 一般情況下,單一供應(yīng)商僅能供應(yīng)數(shù)種至數(shù)十種特種氣體,合同期限通常為 3~5年,下游客戶需面對(duì)眾多特種氣體供應(yīng)商 |
最高純度要求 | 9N,甚至更高 | 6N |
資料來源:觀研天下整理
1.電子特種氣體
電子特種氣體達(dá)260 余種,在光刻、刻蝕、沉積、摻雜、清洗等環(huán)節(jié)發(fā)揮重要作用。
由于電子特氣品種較多,單一公司無法供應(yīng)全部氣體,而海外廠商起步早且擁有先發(fā)優(yōu)勢(shì),電子特氣產(chǎn)品品類相對(duì)齊全,因此在中國(guó)電子特氣市場(chǎng)上擁有較強(qiáng)的話語權(quán)。根據(jù)數(shù)據(jù),2024年,我國(guó)電子特種氣體TOP4企業(yè)分別為美國(guó)空氣化工(25%)、德國(guó)林德氣體(23%)、法國(guó)液化空氣(22%)、日本太陽日酸(16%),總市場(chǎng)份額高達(dá)86%。
而國(guó)內(nèi)特種氣體企業(yè)規(guī)模小、資金實(shí)力不足,在全球寡頭壟斷競(jìng)爭(zhēng)下處于劣勢(shì),且因研發(fā)投入大,資金匱乏制約創(chuàng)新,拉大與國(guó)際先進(jìn)水平差距。同時(shí),國(guó)內(nèi)特種氣體生產(chǎn)公司存在產(chǎn)能重置、同質(zhì)化嚴(yán)重問題,靠降價(jià)競(jìng)爭(zhēng)形成惡性循環(huán),使企業(yè)難以積累發(fā)展資金和技術(shù),導(dǎo)致當(dāng)前電子特種氣體市場(chǎng)呈現(xiàn)海外廠商“強(qiáng)者恒強(qiáng)”效應(yīng)。
數(shù)據(jù)來源:觀研天下數(shù)據(jù)中心整理
資料來源:觀研天下整理
2.電子大宗氣體
電子大宗氣體包括氮?dú)?、氦氣、氧氣、氬氣、氫氣、二氧化碳等六大品種。其中氮?dú)庾鳛榄h(huán)境氣、保護(hù)氣、清潔氣和運(yùn)載氣,貫穿半導(dǎo)體的整個(gè)工藝流程,是用量最大的電子大宗氣體,其余氣體品種的用量相對(duì)較少。
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從市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)看,此前以林德氣體、液化空氣、空氣化工為代表的全球大型工業(yè)氣體公司占據(jù)了我國(guó)電子大宗氣體絕大多數(shù)市場(chǎng)。但近年來,降低半導(dǎo)體供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)和控制生產(chǎn)成本大勢(shì)所趨,國(guó)產(chǎn)電子大宗氣體迎來發(fā)展機(jī)遇,替代正當(dāng)時(shí)。
根據(jù)數(shù)據(jù),2023年,中國(guó)集成電路和半導(dǎo)體顯示領(lǐng)域新建現(xiàn)場(chǎng)制氣項(xiàng)目中,林德氣體、液化空氣、空氣化工中標(biāo)產(chǎn)能總占比高達(dá) 63.2%。至2024年,林德氣體、液化空氣、空氣化工中標(biāo)產(chǎn)能總占比為30%,較2023年顯著減少33.2個(gè)百分點(diǎn);而廣鋼氣體中標(biāo)產(chǎn)能占比躍升至第一位,達(dá)41%,較2023年大幅增長(zhǎng)16.4個(gè)百分點(diǎn)。
數(shù)據(jù)來源:觀研天下數(shù)據(jù)中心整理
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除“量”的提升外,以廣鋼氣體為代表的本土企業(yè)正引領(lǐng)電子大宗氣體國(guó)產(chǎn)替代“質(zhì)變”。具體來看,廣鋼氣體自主研發(fā)形成了包括系統(tǒng)級(jí)制氣技術(shù)、氣體儲(chǔ)運(yùn)技術(shù)、數(shù)字化運(yùn)行技術(shù)、氣體應(yīng)用技術(shù)等在內(nèi)的核心技術(shù)體系。在系統(tǒng)級(jí)制氣技術(shù)領(lǐng)域,廣鋼氣體制氮裝置的技術(shù)參數(shù)和功能達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平;電子大宗氣體的產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)可達(dá)到 ppb 級(jí),滿足《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄》的性能要求,各項(xiàng)參數(shù)均遠(yuǎn)超國(guó)標(biāo) GB 要求;在氣體儲(chǔ)運(yùn)技術(shù)領(lǐng)域,廣鋼氣體主要圍繞氦氣完整供應(yīng)鏈形成了 4K 溫區(qū)超低溫的儲(chǔ)運(yùn)、液氦冷箱預(yù)冷、液氦冷箱互充、氦氣循環(huán)回收提純等核心技術(shù),達(dá)到行業(yè)先進(jìn)水平。我國(guó)電子大宗氣體國(guó)產(chǎn)替代逐漸步入“深水區(qū)”。
廣鋼氣體電子大宗氣體產(chǎn)品純度參數(shù)
氣體種類 | 國(guó)標(biāo)超純 | 重點(diǎn)新材料目錄超高純 | 廣鋼氣體 |
氮?dú)? | 6N | 9N | 9N |
氦氣 | 6N | 9N | 9N |
氧氣 | 6N | 9N | 9N |
氬氣 | 5N | 9N | 9N |
二氧化碳 | 5N | 9N | 9N |
氫氣 | 5N | 9N | 9N |
資料來源:觀研天下整理(zlj)

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